HELIUM SPECIFICATION FROM ST GAS 

Standard 

Purity 

High Purity

Purity: 

> 99.99% 

> 99.999% 

> 99.9995%

Impurity: 

Ne

< 40   vol.ppm

<4  vol.ppm

<1  vol.ppm

H2

<7  vol.ppm

<1  vol.ppm

<0.1  vol.ppm

O2

<5  vol.ppm

<1  vol.ppm

<0.5  vol.ppm

N2

<25  vol.ppm

<2  vol.ppm

<1  vol.ppm

CO

<1  vol.ppm

<0.5  vol.ppm

<0.1  vol.ppm

CO2

<1  vol.ppm

<0.5  vol.ppm

<0.2  vol.ppm

CH4

<1  vol.ppm

<0.5  vol.ppm

<0.1  vol.ppm

H2O

<20  vol.ppm

<3  vol.ppm

<1  vol.ppm